[发明专利]一种芯片缺陷检测定位系统及其应用方法在审
申请号: | 202010823155.0 | 申请日: | 2020-08-17 |
公开(公告)号: | CN112033996A | 公开(公告)日: | 2020-12-04 |
发明(设计)人: | 高宇阳;马超龙;薛九枝;沈戌铖;熊春荣 | 申请(专利权)人: | 苏州和萃新材料有限公司 |
主分类号: | G01N25/20 | 分类号: | G01N25/20;C09J7/35;C09J7/10;C09J133/00;C09J163/10;C09J161/06;C09J11/06 |
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地址: | 215500 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供了一种芯片缺陷检测定位系统,包括检测膜,其包括基底层、离型层和热转印胶层,热转印胶层由感温变色浆料固化形成,感温变色浆料包括液晶微胶囊、热转印树脂、助剂和水;供电装置,其提供电信号给待测芯片;以及信号处理装置,其对测试信号进行收集和处理。本发明还公开了一种检测定位芯片缺陷的方法。本发明公开的芯片缺陷检测定位系统,可检测微米级的芯片缺陷,检测结果鲜明直观,检测方法简单易操作。同时检测膜即贴即测,用完即可移除,无需特殊清洗,安全可靠。 | ||
搜索关键词: | 一种 芯片 缺陷 检测 定位 系统 及其 应用 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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