[发明专利]一种原位高温蠕变疲劳扫描电子显微镜在审
| 申请号： | 202010823697.8 | 申请日： | 2020-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN111948240A | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 张跃飞;屠金磊;张泽 | 申请（专利权）人： | 浙江祺跃科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/2251 | 分类号： | G01N23/2251;G01N23/2204 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 代芳 |
| 地址： | 311500 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开一种原位高温蠕变疲劳扫描电子显微镜，涉及电子显微镜技术领域，主要包括机架，所述机架上设置有电镜腔室；所述电镜腔室的一侧连接有疲劳室，另一侧连接有蠕变室；所述蠕变室内设置有高温蠕变台，所述蠕变室通过第一控制阀与所述电镜腔室连接，所述疲劳室内设置有高温疲劳台，所述疲劳室通过第二控制阀与所述电镜腔室连接；所述蠕变室内还设置有第一传送机构，所述第一传送机构与所述高温蠕变台连接，所述疲劳室内还设置有第二传送机构，所述第二传送机构与所述高温疲劳台连接。本发明可以实现原位高温蠕变疲劳在线监测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 原位 高温 疲劳 扫描 电子显微镜 | ||
【主权项】：
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