[发明专利]传感器薄膜结构及其制造方法在审
| 申请号： | 202010823968.X | 申请日： | 2020-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN113044801A | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 许忠龙;陈旷举;萧鹏展;刘汉英 | 申请（专利权）人： | 新唐科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 谷敬丽;任默闻 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种传感器薄膜结构及其制造方法，该结构包括：基板、第一绝缘层以及装置层。基板具有第一表面以及与前述第一表面相对的第二表面，其中前述第一表面形成有空腔，前述第二表面形成有开口，且前述空腔与前述开口连通。前述空腔和前述开口沿垂直于前述第一表面的方向贯穿前述基板。第一绝缘层设置于前述基板的第一表面上。装置层设置于前述第一绝缘层上。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 薄膜 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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