[发明专利]量产型高效光伏电池三合一镀膜设备在审
| 申请号： | 202010824654.1 | 申请日： | 2020-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN111916530A | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 陶俊;王军;吴杰 | 申请（专利权）人： | 无锡赛瑞达科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L31/0216;C23C8/10;C23C16/34;C23C16/40;C23C16/44;C23C28/04 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了量产型高效光伏电池三合一镀膜设备，涉及TOPcon电池背面钝化领域，光伏企业的TOPCON电池选用的钝化膜结构为Al2O3/SiNx双层膜或SiO2/Al2O3/SiNx三层膜结构，上述三层膜结构通常需要三台以上设备来制作，本发明通过一个镀膜设备就可完成上述镀膜，设计有炉管，炉管两端安装有法兰，所有气体均通过法兰上的进气孔进入石英管内,并且密封石英管内与外界,有冷却水可在法兰内部流通,给法兰降温,避免橡胶密封圈融化，所述法兰四周均匀分布进气孔，保证气源通入均匀。使镀膜工艺更简单，降低了生产成本，镀膜过程不用多次周转，减少污染风险工艺稳定性更高，缩短了氧化时间，极大的提升了产能。 | ||
| 搜索关键词： | 量产 高效 电池 三合一 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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