[发明专利]一种真空压弯式弯晶在审
申请号: | 202010825515.0 | 申请日: | 2020-08-17 |
公开(公告)号: | CN112201383A | 公开(公告)日: | 2021-01-08 |
发明(设计)人: | 翁祖谦;刘星;刘鹏 | 申请(专利权)人: | 上海科技大学 |
主分类号: | G21K1/06 | 分类号: | G21K1/06 |
代理公司: | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人: | 徐俊 |
地址: | 201210 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种真空压弯式弯晶,其特征在于:包括壳体,所述壳体上设有X射线入射口,从X射线入射口到壳体内部沿X射线入射方向依次设置X射线透射膜、单晶晶片和曲面基底,所述X射线透射膜、壳体的侧壁和底面形成密封腔体,所述密封腔体上设有用于抽真空的排气口,进行晶体压弯时,密封腔体内产生负压,大气压将X射线透射膜柔性地贴合在单晶晶片和曲面基底上。本发明采用真空压弯的方式,各种单晶晶片均可进行压弯,极大地扩展了弯晶的材料选择;利用大气压对单晶晶片和曲面基底柔性地施加应力,受力均匀,结构稳定;可以直接将单晶晶片和曲面基底贴合,复制曲面基底的面形,保持较高的面形精度;同一块单晶晶片可以搭配不同面形的曲面基底,降低制造成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空 压弯式弯晶 | ||
【主权项】:
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