[发明专利]一种器件固定装置及半导体激光器测试设备有效
| 申请号： | 202010828687.3 | 申请日： | 2020-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN111707849B | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 蒋锴;李春勇;舒凯;仇伯仓;柯毛龙;徐化勇;冯欧 | 申请（专利权）人： | 江西铭德半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R31/26;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 彭琰 |
| 地址： | 330000 江西省南昌市南*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明提供一种器件固定装置及半导体激光器测试设备，所述装置包括基座，基座的顶部设有若干吸附孔，每个吸附孔均通过各自的真空气道与真空泵连通，所述装置还包括：若干感触部件，设置于基座的顶部，且每一吸附孔所在位置处对应设置一感触部件；以及若干气道开关组件，设置于基座内，且每个气道开关组件各控制一个真空气道的通断，气道开关组件与对应的感触部件联动。本发明实现了只有器件压盖的区域会产生吸力而非压盖区域不产生吸力，从而提高器件两侧的压差，以达到有效增大固定压力的目的，从而稳定地固定器件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 器件 固定 装置 半导体激光器 测试 设备 | ||
【主权项】：
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