[发明专利]雪崩光电二极管及其制作方法

摘要

本发明公开了一种雪崩光电二极管，该雪崩光电二极管包括衬底以及形成在衬底上的外延部，外延部包括依序层叠在衬底上的倍增层、电荷层和吸收层；其中，电荷层与吸收层之间设有第一波导层，吸收层的背向电荷层的表面上设有第二波导层，第一波导层的折射率和第二波导层的折射率小于吸收层的折射率。本发明解决了现有的雪崩光电二极管的吸收层的厚度太大从而增加载流子渡越吸收层的时间，降低雪崩光电二极管的响应速度的问题。