[发明专利]一种结合力增强抗磨损耐腐蚀复合涂层及其制备方法

摘要

本发明公开了一种结合力增强抗磨损耐腐蚀复合涂层及其制备方法，旨在满足涂层材料在摩擦及腐蚀双环境下具有长期、稳定的抗磨损及耐腐蚀性能的要求。本发明包括对零件基材表面进行纳米或亚微米级加工；随后，通过原子层沉积（ALD）技术进行耐腐蚀涂层制备；最后，通过物理气相沉积（PVD）技术进行抗磨损涂层制备。本发明中零件基材表面纳米或亚微米级加工旨在增加基材与ALD制备涂层以及ALD与PVD制备涂层间机械互锁效果，提高结合力；同时，本发明中通过PVD技术在顶部制备的抗磨损涂层可有效保护通过ALD技术在底部制备的耐腐蚀涂层，避免底部的耐腐蚀涂层遭到磨损破坏，失去耐腐蚀作用。