[发明专利]一种红外传感器及其制造方法在审
| 申请号： | 202010833816.8 | 申请日： | 2020-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN114078998A | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 石虎;刘孟彬;向阳辉 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路（宁波）有限公司 |
| 主分类号： | H01L35/34 | 分类号： | H01L35/34;H01L35/32;G01J5/12;B81C3/00;B81C1/00;B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 | 代理人： | 刘亭 |
| 地址： | 315800 浙江省宁波市北*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种红外传感器及其制造方法，红外传感器的制造方法包括：提供临时衬底；在临时衬底上形成热电结构，热电结构包括至少一组热电偶对；提供第一衬底，第一衬底内具有电路；在第一衬底上或者在热电结构上形成键合层；在键合层内形成空腔和第一通孔，空腔和第一通孔贯穿键合层；通过键合层键合第一衬底与热电结构，第一通孔暴露出部分热电偶对表面；去除临时衬底；在第一衬底上形成第二通孔，第二通孔贯穿第一衬底，且与第一通孔相通；在第一通孔和第二通孔内形成电连接结构，电连接结构连接热电偶对和外部电路。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 红外传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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