[发明专利]分段式掩膜片、掩膜版、掩膜版组件及其制作方法有效
| 申请号： | 202010837092.4 | 申请日： | 2020-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN111996489B | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 钱超;杨柯 | 申请（专利权）人： | 南京高光半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C4/12;C09J4/06;C09J11/06;C09J11/08 |
| 代理公司： | 南京中律知识产权代理事务所(普通合伙) 32341 | 代理人： | 沈振涛 |
| 地址： | 210000 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种分段式掩膜片，其为网格状结构，包括外部的框体、内部的孔体、连接部、卡接槽口、突起；框体内部通过多组连接部间隔，间隔位置为内部的孔体；至少独立地设置有一组卡接槽口、一组突起设置在框体的任一两个侧面；卡接槽口和突起结构相匹配。同时，还公开了掩膜版、掩膜版组件及其制作方法，该组件用于OLED器件蒸镀用通过改进和设计可拆卸安装时粘结剂的组份和份数，能够可拆卸地将有损坏的分段式掩膜片进行可选择地、有目的的直接更换，重组后，再将其进行二次或多次使用，降低了修复成本，提升了高精密金属掩膜版的使用良率以及工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 段式 膜片 掩膜版 组件 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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