[发明专利]一种碳化外延层厚度的共聚焦拉曼光谱深度检测方法在审
| 申请号： | 202010838959.8 | 申请日： | 2020-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN111965164A | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 徐宗伟;宋莹;刘涛;王虹;吴金桐;刘嘉宇 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 程毓英 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种碳化外延层厚度的共聚焦拉曼光谱深度检测方法，所采用的测量仪器为共聚焦拉曼光谱仪，包含以下步骤：设置共聚焦针孔或狭缝的直径或宽度≤200μm，保证共聚焦拉曼光谱仪的Z向空间分辨能力；选择40‑60倍长工作距离物镜，设置光谱扫描范围覆盖碳化硅的LOPC峰；聚焦碳化硅样品表面，调整样品台位置Z直到表面清晰且激光光斑最小；获得不同深度的拉曼光谱；对不同深度的拉曼光谱中LOPC峰按照如下高斯‑洛伦兹拟合公式进行峰型拟合；得到样品外延层的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化 外延 厚度 聚焦 光谱 深度 检测 方法 | ||
【主权项】：
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