[发明专利]一种对废铝刻蚀液进行回收利用的方法在审

专利信息
申请号: 202010839191.6 申请日: 2020-08-19
公开(公告)号: CN111960394A 公开(公告)日: 2020-11-20
发明(设计)人: 蔡步林;杨着;李少平;郝晓斌;贺兆波;张庭;陈建;项扶伟;毛志鹏 申请(专利权)人: 湖北兴福电子材料有限公司
主分类号: C01B25/237 分类号: C01B25/237;C01B21/46;C07C51/42;C07C51/44;C07C53/08
代理公司: 宜昌市三峡专利事务所 42103 代理人: 成钢
地址: 443007 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明涉及一种废铝刻蚀液的回收利用方法,先采用减压蒸馏方法分离磷酸与其他组分,得到浓度90%以上的磷酸溶液与硝酸、醋酸混酸溶液。硝酸、醋酸混酸溶液通过精馏的方式分离酸和水时,硝酸、醋酸、水三者易形成共沸体系,水作为轻组分通过精馏后大部分集中于塔顶,硝酸、醋酸则留在塔釜。通过连续进料,塔顶采出轻组分水,塔釜混酸溶液浓度达到70%后连续采出,可以实现连续精馏操作。本发明所述工艺能够对含有多种酸的废铝刻蚀液进行回收利用,分别得到磷酸溶液和可用于新鲜铝刻蚀液配制的硝酸、醋酸混酸溶液,极大地减少了酸的消耗量和处理废酸产生的固废,为铝刻蚀液的回收利用提供了一种新的方法。
搜索关键词: 一种 刻蚀 进行 回收 利用 方法
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