[发明专利]一种真空排气装置及真空排气方法在审
| 申请号： | 202010840728.0 | 申请日： | 2020-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN111946592A | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 杨逑;钱锋 | 申请（专利权）人： | 东莞市德派精密机械有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14;F04B41/06;F04B51/00;F04B39/10;F24H7/00;F24H9/02;F24H9/20 |
| 代理公司： | 东莞科言知识产权代理事务所(普通合伙) 44671 | 代理人： | 何树良 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市东城街道东城科*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及抽真空技术领域，尤其公开了一种真空排气装置及真空排气方法，真空排气装置包括主管道件、干式涡旋泵、检漏仪、分子泵、真空检测仪及多个第一阀体，干式涡旋泵经由分子泵与主管道件连通，主管道件分别经由多个第一阀体与外界的多个排气器件连通；检漏仪分别连通干式涡旋泵及分子泵，真空检测仪用于测量排气器件的真空度，检漏仪用于测量是否漏气；本发明的真空排气装置构造简单，使用方便，一次性即可完成多个排气器件的排气抽真空；经由检漏仪的设置，借助第一阀体方便、快速地关闭漏气的排气器件；借助真空检测仪，保证多个排气器件的真空度的准确性及一致性；提升排气器件的抽真空效率及抽真空良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 排气装置 排气 方法 | ||
【主权项】：
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