[发明专利]掩模板张网组件及张网装置、张网方法在审

专利信息
申请号: 202010841412.3 申请日: 2020-08-20
公开(公告)号: CN111952485A 公开(公告)日: 2020-11-17
发明(设计)人: 丁文彪;王威 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
主分类号: H01L51/56 分类号: H01L51/56;C23C14/04
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 许静;张博
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供一种掩模板张网组件及张网装置、张网方法,用于将掩模板张网于掩模框架上,掩模板包括位于掩模板的相对两端的两个焊接区,焊接区包括相背的第一面和第二面,掩模框架包括相对的两个第一侧边,第一面与掩模框架的第一侧边表面相贴合;该掩模板张网组件包括:主框架,包括用于按压焊接区的第二面的按压平面及与按压平面相背设置的背面,主框架的中部设有贯通按压平面和背面的镂空区域;施力结构,设置在主框架上,向主框架上的相对两端分别施加第一按压作用力和第二按压作用力,第一按压作用力和第二按压作用力的方向均垂直于按压平面且大小相同。本发明提供的掩模板张网组件及张网装置、张网方法,能够改善掩模板张网褶皱导致的不良。
搜索关键词: 模板 组件 装置 方法
【主权项】:
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