[发明专利]一种具有缓冲和减振功能的晶圆研磨设备

摘要

本发明涉及一种具有缓冲和减振功能的晶圆研磨设备，包括工作台、驱动箱和传动轴，所述驱动箱设置在工作台的上方且与工作台固定连接，所述传动轴竖向设置在驱动箱和工作台之间，所述驱动箱内设有驱动装置和供水装置，所述传动轴的顶端与驱动装置连接，所述工作台上设有连接机构，所述传动轴的底端设有研磨机构，所述连接机构包括支撑板和至少两个连接组件，所述连接组件包括第一弹簧、连接线、定滑轮、移动管、移动盘、移动杆、支撑块、第二弹簧、连接孔和通孔，该具有缓冲和减振功能的晶圆研磨设备通过连接机构实现了缓冲和减振的功能，不仅如此，还通过研磨机构实现了研磨晶圆的功能。