[发明专利]一种T型悬臂梁微结构及其加工方法和应用在审
| 申请号： | 202010844382.1 | 申请日： | 2020-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN112079328A | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 姚瑶;陈云;侯茂祥;陈燕辉;施达创;陈新;高健 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B3/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 广东广信君达律师事务所 44329 | 代理人： | 彭玉婷 |
| 地址： | 510062 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明属于微纳加工技术领域，公开一种T型悬臂梁微结构及其加工方法和应用。该方法是在清洗的硅基表面上采用800～850℃低压化学气相沉积法生长SiN |
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| 搜索关键词： | 一种 悬臂梁 微结构 及其 加工 方法 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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