[发明专利]恒温水提供装置在审
| 申请号： | 202010847236.4 | 申请日： | 2020-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN112428467A | 公开（公告）日： | 2021-03-02 |
| 发明（设计）人： | 吉田干;斋藤淳 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B28D7/02 | 分类号： | B28D7/02;B24B55/03;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 乔婉;于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供恒温水提供装置，其对设定温度进行修正而将水提供至加工装置。恒温水提供装置与加工装置连接，具有能够将水的温度调节成设定温度的温度调节单元，将调节了温度的水提供至加工装置，恒温水提供装置具有：环境温度测量单元，其测量环境的温度；利用后温度测量单元，其测量在加工装置中利用后的水的温度作为利用后温度；和设定温度指示单元，其向温度调节单元指示设定温度，设定温度指示单元具有：设定温度登记部，其登记设定温度；和设定温度修正部，其对设定温度登记部所登记的设定温度进行修正，设定温度修正部根据利用后温度测量单元所测量的水的利用后温度和环境温度测量单元所测量的环境的温度而对设定温度进行修正。 | ||
| 搜索关键词： | 恒温 提供 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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