[发明专利]一种镀锡板钝化膜厚度的测量方法在审
| 申请号： | 202010849419.X | 申请日： | 2020-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN111998808A | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 王志奋;韩荣东;黄海娥;周元贵;马家艳 | 申请（专利权）人： | 武汉钢铁有限公司 |
| 主分类号： | G01B15/02 | 分类号： | G01B15/02;G01N23/2273;G01N23/2202 |
| 代理公司： | 武汉开元知识产权代理有限公司 42104 | 代理人： | 赵龙骧 |
| 地址： | 430083 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及镀锡板的表征检测领域，尤其涉及一种镀锡板钝化膜厚度的测量方法。本发明包括步骤：(1)试样的预处理：(2)确定钝化膜的表面位置：原位氩离子刻蚀和X射线光电子能谱测量交替进行，分析试样刻蚀在镀锡板某深度处的化学组成及含量，当测量到Cr元素、O元素后确定钝化膜的表面位置；(3)刻蚀钝化膜：检测到钝化膜的表面位置后对试样继续刻蚀，直至钝化膜已完全刻蚀完，记录刻蚀时间(t)；(4)计算钝化膜厚度：已知标准靶材的刻蚀速度，根据刻蚀速度与靶材的密度成反比，获得钝化膜的刻蚀速度；钝化膜厚度＝刻蚀速度×刻蚀时间。本发明能够快速、准确地测量镀锡板钝化膜厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀锡 钝化 厚度 测量方法 | ||
【主权项】：
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