[发明专利]一种感应结太阳电池及其制备方法

摘要

本发明提供了一种感应结太阳电池及其制备方法。具体的，本发明提供了一种太阳电池，包括P型半导体衬底；下电极，所述下电极位于所述P型半导体衬底的背表面上；感应层，所述感应层自下而上包括过渡层、电荷增强层和抗反射层，且固定电荷密度达到1013cm‑2量级，所述过渡层包括氧化硅或者氮氧化硅薄膜，所述电荷增强层包括氯化铷、氯化钙、氯化钾和氯化镁一种或几种，所述抗反射层包括氮化硅薄膜；上电极，所述上电极位于所述感应层的上方。本发明的太阳电池以无毒的碱金属氯化物为电荷增强层，可以极大提高抗反射层中固定电荷密度，同时降低界面态密度，钝化性能优异，制备方法简单，同时，可极大降低太阳电池的生产成本。