[发明专利]等离子体处理系统和等离子体点火辅助方法

摘要

本发明提供一种等离子体处理系统和等离子体点火辅助方法。等离子体处理系统的控制装置执行收集工序、第一确定工序、第二确定工序以及点火工序。在收集工序中，关于同电力供给部与等离子体之间的阻抗的匹配有关的各个可调节的变量的值，收集表示阻抗的匹配状态的测定值。在第一确定工序中，确定相对于从与各个变量对应的点到匹配点的向量的、测定值的变化的斜率最大的变量的值所对应的通过点，所述匹配点为与阻抗最匹配的状态下的测定值对应的点。在第二确定工序中，将包括通过点和匹配点的直线上的比通过点更远离匹配点的点确定为控制的开始点。在点火工序中，从开始点沿直线向匹配点控制各个变量，由此在等离子体处理装置内使等离子体点火。