[发明专利]一种湿法刻蚀清洗机构的溢流槽结构有效
| 申请号： | 202010853873.2 | 申请日： | 2020-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN112058774B | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 罗永胜 | 申请（专利权）人： | 台州市亿源塑业有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04;H01L21/67 |
| 代理公司： | 蓝天知识产权代理(浙江)有限公司 33229 | 代理人： | 王卫兵 |
| 地址： | 318050 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开一种湿法刻蚀清洗机构的溢流槽结构，包括主槽体，所述主槽体中插套有内槽体，内槽体的上部外侧壁上固定有径向延伸的框型板，框型板的外侧壁固定在主槽体的内侧壁上，框型板与主槽体的底板之间形成主腔体。本发明采用主槽体和内槽体组合方式，实现侧部设置进液连接头，方便安装拆卸连接管，同时，其中间隔板为可拆卸结构，大大方便后续对主槽体和内槽体的清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 湿法 刻蚀 清洗 机构 溢流 结构 | ||
【主权项】：
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