[发明专利]一种晶圆抓取机械手在审
| 申请号： | 202010853890.6 | 申请日： | 2020-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN111834283A | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 罗永胜 | 申请（专利权）人： | 台州市老林装饰有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687 |
| 代理公司： | 蓝天知识产权代理(浙江)有限公司 33229 | 代理人： | 王卫兵 |
| 地址： | 318050 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种晶圆抓取机械手，包括机械手固定板，所述机械手固定板的右端中部成型有弧形槽，弧形槽的左侧壁的中部成型有向左延伸的中心通槽，中心通槽的前后两个内侧壁上均固定有中部导向槽，伸缩臂插套在中心通槽中，伸缩臂的前后两个侧壁上成型有导向凸起条，导向凸起条插套在对应的中部导向槽中。本发明通过伸缩臂伸缩可以将抓取板伸入抓取处进行接料，其伸缩臂体积小，方便伸入抓取处抓取，而且其可以自动将晶圆提升，方便后续其他机械手抓取，非常方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抓取 机械手 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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