[发明专利]一种高精度显微镜X轴平移机构在审
| 申请号： | 202010854024.9 | 申请日： | 2020-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN111796411A | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | 陈亮;刘世文 | 申请（专利权）人： | 深圳市森美协尔科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B21/26 | 分类号： | G02B21/26;G02B21/24 |
| 代理公司： | 深圳市徽正知识产权代理有限公司 44405 | 代理人： | 卢杏艳 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及显微镜配件技术领域，特指一种高精度显微镜X轴平移机构，包括底座，底座设有便于显微镜滑动时的驱动组件、以及便于显微镜滑动地滑轨组件、以及与滑轨组件配合设置的辅助滑动组件、以及检测显微镜平移过程的感应组件。本发明采用这样的结构设置，其能够满足微米级传动的要求，传动精密而稳定，能够适用于半导体测试设备上，有效解决需要依赖于国外进口的困局，且成本相比引进国外进口的产品而言较低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 显微镜 平移 机构 | ||
【主权项】：
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