[发明专利]温度调节方法及装置、蒸镀设备有效
| 申请号： | 202010854729.0 | 申请日： | 2020-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN111979517B | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 白玉庭;董晓程;牛玉山;张志强;贾晓晨 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 姜春咸;冯建基 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开提供一种温度调节装置，包括控制器、至少一个温度调节板；所述控制器用于根据蒸发源已蒸镀的膜层的厚度、和/或厚度均一性确定提供给所述温度调节板的控制电压；所述温度调节板包括朝向所述蒸发源设置的反射面，所述反射面的反射率能够随所述控制电压的变化而变化。本公开还提供一种温度调节方法、一种蒸镀设备。 | ||
| 搜索关键词： | 温度 调节 方法 装置 设备 | ||
【主权项】：
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