[发明专利]一种PVD真空镀膜机有效
| 申请号： | 202010854776.5 | 申请日： | 2020-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN112144036B | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 刘洪涛;夏林;智理 | 申请（专利权）人： | 宁波中骏森驰汽车零部件股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/34 |
| 代理公司： | 慈溪夏远创科知识产权代理事务所(普通合伙) 33286 | 代理人： | 陈伯祥 |
| 地址： | 315300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种PVD真空镀膜机，包括机壳，机壳从上至下依次设置有上清洁仓、工作仓和下清洁仓，上清洁仓和下清洁仓个设置有一个可移动的滑动筒壁，滑动筒壁可滑入工作仓内从而遮盖工作仓的内壁，工作仓内设置有主机头用于进行镀膜工作并且能够夹持多个被镀工件同时进行镀膜；工作仓的上顶和下底各设置有一圈封圈，封圈侧边设置有密封头，密封头重启后膨胀从而顶住封圈和滑动筒壁之间的空隙形成密闭的空间；上清洁仓和下清洁仓内设置有清洁部和烘干部，清洁部和烘干部对从工作仓退回至上清洁仓或下清洁仓的滑动筒壁进行清洁烘干工作。本发明能够自动清理真空镀膜机的内壁，并且不影响镀膜工作，既能够保证镀膜质量，又提高了效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pvd 真空镀膜 | ||
【主权项】：
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