[发明专利]一种行波电极调制器及光子集成芯片

摘要

本申请公开了一种行波电极调制器及光子集成芯片，该行波电极调制器包括硅基板、设于硅基板内的光波导和掺杂的过渡区，以及与过渡区电连接的行波电极结构；该行波电极结构包括至少一层沿光波导延伸方向连续延伸的连续电极和至少一层沿光波导延伸方向周期性变化的周期性电极，以及导电结构；该连续电极和周期性电极之间、以及行波电极结构和过渡区之间通过导电结构相电连接。在行波电极结构上增加了周期性设计的电极，具有更多可设计的参数，提高了行波电极结构设计的灵活性，可使电磁波的传播速度与光波的传播速度具有更高的匹配度，从而可有效提高调制器的电光调制带宽。