[发明专利]一种金属处理设备及驱动方法在审
| 申请号： | 202010855660.3 | 申请日： | 2020-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN112063988A | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 张麒麟;吴聪原;黄逸臻 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24;C23C14/14;G01N33/00 |
| 代理公司： | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人： | 林祥翔;徐剑兵 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金属处理设备及驱动方法，缓冲室位于工作腔一侧，并与工作腔连接；第一闸门设置于缓冲室与工作腔的连接处，第二闸门位于缓冲室一侧壁上；转移装置位于工作腔或缓冲室内；加热源置于工作腔内，用于加热坩埚；真空泵与缓冲室相导通设置；工作腔、缓冲室分别连接一根用于输送保护气体的管道；控制装置与转移装置、第一闸门、第二闸门、加热源、真空泵电连接。上述技术方案通过工作腔、缓冲室、第一闸门第二闸门、移动装置的配合，可以使工作腔在不破除真空的前提下，进行添加或移出金属镁的操作，避免生产过程中频繁打开蒸镀腔体去除镁灰，提高了生产效率，另外利于维持腔体真空环境，避免了频繁破真空造成腔体水氧污染问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 处理 设备 驱动 方法 | ||
【主权项】：
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