[发明专利]一种基于图像检测的晶圆计数方法及系统有效
申请号: | 202010856571.0 | 申请日: | 2020-08-24 |
公开(公告)号: | CN111739022B | 公开(公告)日: | 2020-12-11 |
发明(设计)人: | 李渊;洪志坤;洪浩 | 申请(专利权)人: | 武汉精测电子集团股份有限公司;武汉精立电子技术有限公司 |
主分类号: | G06T7/00 | 分类号: | G06T7/00;G06T7/11;G06T7/136;G06T7/187;G06T5/00 |
代理公司: | 武汉东喻专利代理事务所(普通合伙) 42224 | 代理人: | 李佑宏 |
地址: | 430205 湖北省武*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于图像检测的晶圆计数方法及系统,其利用图像检测设备获取晶圆阵列的原始检测图像,对原始检测图像进行旋转矫正,对旋转校正后的检测图像进行ROI区域提取以获取第一ROI区域图像;利用第一ROI区域图像获取所述晶圆阵列的PN结区域、水平线族以及垂直线族,水平线族和垂直线族分别为水平方向和垂直方向的晶粒间隙区域,利用垂直线族和水平线族进行图像分割以获得单颗晶粒区域,计算单颗晶粒区域的特征值以实现良品晶粒的筛选。从而快速准确的对晶粒进行计数和分类,实现对晶圆的晶粒等级的准确判断,通过该方法及系统可以快速有效准确的进行晶圆计数工作。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 图像 检测 计数 方法 系统 | ||
【主权项】:
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