[发明专利]一种氧化锌微米线紫外探测器及其制备方法

摘要

本发明提供了一种氧化锌微米线紫外探测器及其制备方法。本发明提供的氧化锌微米线紫外探测器，包括：衬底；复合于所述衬底表面的氧化锌微米线；固定于所述氧化锌微米线的两端的电极；复合于所述氧化锌微米线上非电极区域的修饰层；所述修饰层为氟硅基修饰层；所述氟硅基修饰层包括：SiF4和F。本发明在衬底表面设置氧化锌微米线，在氧化锌微米线的两端分别设置电极，并在氧化锌微米线的表面进行修饰形成氟硅基修饰层，通过上述修饰处理，能够有效降低紫外探测器的暗电流、提高响应度、减少响应时间。