[发明专利]清洗装置有效
| 申请号： | 202010856931.7 | 申请日： | 2020-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN112024500B | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 李相鑫;吴仪 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00;F26B21/14 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种清洗装置，其包括基座和边缘清洗机构，其中，基座可旋转并用于承载待清洗件，且基座的外径小于待清洗件的直径，以使待清洗件的边缘部分能够自基座的外周面伸出；边缘清洗机构设置在基座的一侧，且包括清洗结构和边缘喷嘴结构，其中，清洗结构包括一清洗腔，待清洗件的边缘部分容置于清洗腔中；边缘喷嘴结构包括喷嘴，喷嘴容置于清洗腔中，用以朝向待清洗件的边缘部分喷淋清洗液。本发明实施例提供的清洗装置，其不仅可以有效清除待清洗件边缘上的颗粒等污染物，而且可以防止清洗液溅射至待清洗件除边缘部分之外的其他部分，从而可以避免二次污染，提高产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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