[发明专利]一种太阳能电池及其制备方法

摘要

本申请涉及光伏领域，提供一种太阳能电池及其制备方法，其中，方法包括以下步骤：对半导体衬底表面进行掺杂处理以形成掺杂层，掺杂层包括第一掺杂浓度的掺杂元素；在掺杂层的表面沉积包括掺杂元素的掺杂非晶硅层；选择性去除掺杂非晶硅层的至少一个区域；对包括掺杂层和掺杂非晶硅层的半导体衬底退火处理使得掺杂层包括具有第一掺杂浓度的轻掺区域和具有第二掺杂浓度的重掺区域，其中第二掺杂浓度大于第一掺杂浓度；以及对退火处理后的半导体衬底进行后处理以制备太阳能电池。本申请的太阳能电池及其制备方法，简化太阳能电池制备工艺，提高电池转换效率。