[发明专利]一种发光结构的转移方法有效
| 申请号： | 202010860341.1 | 申请日： | 2020-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN112968108B | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 熊浪;翟峰 | 申请（专利权）人： | 重庆康佳光电技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/48 | 分类号： | H01L33/48;H01L21/683;C09J133/02;C09J133/04 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 白雪 |
| 地址： | 402760 重庆市璧*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种发光结构的转移方法。该转移方法包括以下步骤：提供一表面生长有多个发光结构的生长基板；通过光致形状记忆胶层将临时基板与所述多个发光结构进行粘结；激光剥离生长基板，以将生长基板与多个发光结构分离，得到粘附有多个发光结构的临时基板；利用第一波段的光束对粘附有多个发光结构的临时基板进行照射，以使光致形状记忆胶层发生至少部分形变，且第一波段大于光致形状记忆胶层形变的阈值波长；将多个发光结构进行转移。本发明通过改变临时键合材料的种类，结合光致形状记忆胶层特点，实现了增加后续拾取胶材的可选性，扩宽了制成工艺窗口，提高了转移良率。另外，临时基板可重复利用，减少了制程开发成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 发光 结构 转移 方法 | ||
【主权项】：
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