[发明专利]半导体存储器装置及其制造方法在审

专利信息
申请号: 202010861679.9 申请日: 2020-08-25
公开(公告)号: CN113140543A 公开(公告)日: 2021-07-20
发明(设计)人: 李南宰 申请(专利权)人: 爱思开海力士有限公司
主分类号: H01L23/538 分类号: H01L23/538;H01L21/768;H01L27/11568;H01L27/11582
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 刘久亮;黄纶伟
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 半导体存储器装置及其制造方法。一种半导体存储器装置包括:位线和公共源极线,其连接至存储器单元阵列,其中位线和公共源极线在第一层级中彼此间隔开;焊盘图案,其在第一层级中与位线和公共源极线间隔开;第一绝缘层,其覆盖位线、公共源极线和焊盘图案;遮蔽图案,其与位线交叠并设置在第一绝缘层上;第一上配线和第二上配线,其在遮蔽图案上方彼此间隔开;多个接触插塞,其从第一上配线和第二上配线朝向位线、公共源极线和焊盘图案延伸,其中,多个接触插塞中的一个或更多个将遮蔽图案连接至第二上配线。
搜索关键词: 半导体 存储器 装置 及其 制造 方法
【主权项】:
暂无信息
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