[发明专利]半导体存储器装置及其制造方法在审
申请号: | 202010861679.9 | 申请日: | 2020-08-25 |
公开(公告)号: | CN113140543A | 公开(公告)日: | 2021-07-20 |
发明(设计)人: | 李南宰 | 申请(专利权)人: | 爱思开海力士有限公司 |
主分类号: | H01L23/538 | 分类号: | H01L23/538;H01L21/768;H01L27/11568;H01L27/11582 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 刘久亮;黄纶伟 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 半导体存储器装置及其制造方法。一种半导体存储器装置包括:位线和公共源极线,其连接至存储器单元阵列,其中位线和公共源极线在第一层级中彼此间隔开;焊盘图案,其在第一层级中与位线和公共源极线间隔开;第一绝缘层,其覆盖位线、公共源极线和焊盘图案;遮蔽图案,其与位线交叠并设置在第一绝缘层上;第一上配线和第二上配线,其在遮蔽图案上方彼此间隔开;多个接触插塞,其从第一上配线和第二上配线朝向位线、公共源极线和焊盘图案延伸,其中,多个接触插塞中的一个或更多个将遮蔽图案连接至第二上配线。 | ||
搜索关键词: | 半导体 存储器 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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