[发明专利]一种等离子体放电异常的处理方法

摘要

本发明公开了一种等离子体放电异常的处理方法，其步骤包括：步骤S1：淀积工艺开始时，检测等离子体放电过程中输出电流Io是否超过最大电流设定值Imax，当Io＞Imax时，判断放电过程中有Imax电弧发生；若Io＜Imax，则继续比较Io是否超过电流设定值Ix，其中Ix＜Imax；步骤S2：当输出电流Io＞Ix时，同时需比较输出电压Uo是否超过电压设定值Ux；当Io＞Ix且Uo＜Ux时，判断放电过程中有U×I电弧发生；步骤S3：比较输出电压波动ΔU和设定值dU，当ΔU大于dU时，判断放电过程中有dU电弧发生。本发明具有原理简单、操作简便、自动化程度高、检测精度高、处理效果好等优点。