[发明专利]一种检测装置及检测设备有效
| 申请号： | 202010861773.4 | 申请日： | 2020-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN112697039A | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;方一;李青格乐 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市龙华*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供一种检测装置，包括光源装置，其用于向待测区及其外围区域发射检测光束，检测光束沿垂直于待测物的方向入射至待测区及其外围区域，检测光束穿过外围区域形成复检光束；反射元件，其具有反射面，反射面平行于待测物，反射面用于使至少部分复检光束反射至外围区域，复检光束穿过外围区域形成第一信号光；以及探测装置，其用于接收信号光，信号光包括沿垂直于待测物的方向自外围区域出射的第一信号光；通过以上设置，可以使得光源装置出射的检测光束可以经待测物反射、折射或散射后形成信号光，被探测装置所收集，形成清晰的轮廓图，从而提高检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 装置 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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