[发明专利]一种薄膜制备设备及方法在审
| 申请号： | 202010863890.4 | 申请日： | 2020-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN111974612A | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 王春锐;陈星;邵俊峰;陈飞 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | B05C3/02 | 分类号： | B05C3/02;B05C9/08;B05C11/10;B05C13/02;B05D1/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张欣然 |
| 地址： | 130033 吉林省长春市*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了薄膜制备设备及方法，薄膜制备设备包括：盛放装置和旋转部，盛放装置用于盛放溶解有镀膜物质的易挥发溶剂，旋转部用于带动盛放装置旋转、以使易挥发溶剂铺平并挥发；盛放装置设置有用于固定待镀膜的衬底的固定部。本发明所提供的薄膜制备设备，结构简单，生产成本低，使用方便，可以适用于不同的镀膜物质，具有普适性；而且旋转部的设置可以提高薄膜的制备效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 制备 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，未经中国科学院长春光学精密机械与物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010863890.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
