[发明专利]动态气体隔离装置在审
| 申请号： | 202010865508.3 | 申请日： | 2020-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN111965950A | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 王魁波;吴晓斌;谢婉露;罗艳;沙鹏飞;韩晓泉;李慧 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 何家鹏 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请具体涉及一种动态气体隔离装置，该动态气体隔离装置包括主管道、供气装置和气体预处理装置，其中，主管道包括宽口端和窄口端，宽口端用于与第一腔室连通，窄口端用于与第二腔室连通，第一腔室的清洁度高于第二腔室的清洁度，主管道的侧壁上设置有进气口；供气装置包括高纯气源和气体管道，气体管道的两端分别与进气口和高纯气源连通；气体预处理装置包括气流匀化器和温度调节器，气流匀化器和温度调节器设置在气体管道内。本申请提出的动态气体隔离装置可以抑制第二腔室的污染物朝第一腔室扩散，实现了对两种不同要求的真空环境的隔离，并通过气流匀化器和温度调节器保证了气流的均匀性和温度稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 动态 气体 隔离 装置 | ||
【主权项】：
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