[发明专利]一种基于二硒化钯/超薄硅/二硒化钯肖特基结的颜色探测系统及其制备方法有效
| 申请号： | 202010867080.6 | 申请日： | 2020-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN111947792B | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 罗林保;付灿;李家祥;王俊杰 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01J9/00 | 分类号： | G01J9/00;H01L31/108;H01L31/18 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人： | 卢敏 |
| 地址： | 230009 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于二硒化钯/超薄硅/二硒化钯肖特基结的颜色探测系统及其制备方法，是在玻璃衬底的上、下表面对称设置有由两二硒化钯薄膜与n‑型超薄硅片构成金属半导体金属肖特基结的一对颜色探测单元。本发明的颜色探测系统可探测的波长范围包括460‑810nm，跨越了整个可见光区域又涉及一部分近红外波段，且该系统具有准确性和重复性高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 二硒化钯 超薄 二硒化钯肖特基结 颜色 探测 系统 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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