[发明专利]高温高压冷热台在审
| 申请号： | 202010867657.3 | 申请日： | 2020-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN111855885A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 王丽丽;韩修刚;刘金伟 | 申请（专利权）人： | 重庆渝微电子技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01N31/10 | 分类号： | G01N31/10;G01N21/01;G01N21/65 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 400030 重庆市沙坪坝区*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明的一种高温高压冷热台，由台体（1）、台盖（2）、盖窗（3）、o型环（4）、陶瓷样品架（5）、陶瓷加热坩埚（13）以及热电偶（11）组成；所述陶瓷加热坩埚（13）位于台体内部；所述热电偶（11）用于测试温度；所述陶瓷样品架（5）放置于陶瓷加热坩埚（13）内部；所述台体壁内部有循环冷却水通道；所述台体壁外部有温度控制器接口（10）、循环冷却水进出口（8,9）和气体进出气口（6,7）；所述台体（1）上端开口,且开口端设有盖窗（3）；所述台体（1）与盖窗（3）构成封闭体,盖窗（3）上端有用于固定盖窗的台盖（2）,台体（1）与台盖（2）螺纹连接；所述台盖（2）中部开有通孔,可以与反射光显微镜和光谱技术一起使用。 | ||
| 搜索关键词： | 高温 高压 冷热 | ||
【主权项】：
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