[发明专利]高度计在审
| 申请号： | 202010868283.7 | 申请日： | 2020-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN112440170A | 公开（公告）日： | 2021-03-05 |
| 发明（设计）人： | 千岛一史;浦山孝世 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B41/06;B24B47/20;B24B49/02;B24B27/00;H01L21/67;G01B5/08;G01B21/08 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 乔婉;于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
提供高度计，使高度计与晶片之间不释放静电。将保护部件(S)与晶片(W)粘贴而成为一体的被测量物(U)按照使晶片(W)的上表面(Wa)成为上方的方式保持于卡盘工作台(2)的保持面(20a)上，使上表面高度计(51)所具有的第1探针(510)的触头(510a)与晶片(W)的上表面(Wa)接触而对晶片(W)的上表面(Wa)的高度进行测量。构成为第1探针(510)的表面电阻值为1×10 |
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| 搜索关键词： | 高度计 | ||
【主权项】：
暂无信息
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