[发明专利]氧化镓纳米棒及其制备方法和光电探测器件有效
| 申请号： | 202010868714.X | 申请日： | 2020-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN112111711B | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 吕有明;荣曦明;伍锦捷;韩舜;曹培江;朱德亮;柳文军;刘新科;许望颖;方明 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/02;C23C14/08;H01L31/032;H01L31/0352;C01G15/00;B82Y15/00;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 张杨梅 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及半导体材料制备技术领域，提供了一种氧化镓纳米棒及其制备方法和光电探测器件。本申请所提供的制备方法包括：提供基底和氧化镓靶材，并固定于可抽真空的腔体中；向腔体中通入氧气和惰性气体，氧气的通入速度为1～10sccm，惰性气体的通入速度为3～30sccm，并保持腔体的压强为0.11～2.0Pa，然后开启脉冲激光器进行脉冲激光沉积，形成氧化镓纳米棒。该法利用脉冲激光沉积技术，并通过控制腔体中氧气的相对含量以及控制腔体的压强为0.11～2.0Pa，实现了氧化镓纳米结构的自催化以及结晶形貌的调制，成功制备了高质量的氧化镓纳米棒。与现有技术相比，既无需采用贵金属来催化反应，也无需引入异质晶种层，方法简单优化，操作可控，可实现氧化镓纳米棒的规模化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化 纳米 及其 制备 方法 光电 探测 器件 | ||
【主权项】：
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