[发明专利]三维堆叠结构和其制造方法在审
| 申请号： | 202010871038.1 | 申请日： | 2020-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN112447684A | 公开（公告）日： | 2021-03-05 |
| 发明（设计）人： | 陈宪伟;陈洁;陈明发 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L25/065 | 分类号： | H01L25/065;H01L21/98 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 薛恒;王琳 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种堆叠结构，堆叠结构包括第一管芯、堆叠在第一管芯上的第二管芯以及填充材料。第一管芯具有第一接合结构，且第一接合结构包括第一接合衬垫和第一散热元件。第二管芯具有第二接合结构，且第二接合结构包括第二接合衬垫和第二散热元件。第一接合衬垫与第二接合衬垫接合。第一散热元件连接到第一接合衬垫中的一个第一接合衬垫，且第二散热元件连接到第二接合衬垫中的一个第二接合衬垫。填充材料配置在第一管芯上方且横向围绕第二管芯配置。第一管芯与第二管芯通过第一接合结构和第二接合结构接合。 | ||
| 搜索关键词： | 三维 堆叠 结构 制造 方法 | ||
【主权项】：
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