[发明专利]光热反射显微热成像装置、漂移修正方法及漂移修正装置有效

专利信息
申请号: 202010872416.8 申请日: 2020-08-26
公开(公告)号: CN112097952B 公开(公告)日: 2022-11-15
发明(设计)人: 刘岩;乔玉娥;邹学锋;刘霞美;丁晨 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第十三研究所
主分类号: G01K11/00 分类号: G01K11/00;G02B21/36
代理公司: 石家庄国为知识产权事务所 13120 代理人: 付晓娣
地址: 050051 *** 国省代码: 河北;13
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摘要: 发明适用于图像处理领域和显微成像领域,提供了一种光热反射显微热成像装置、漂移修正方法及漂移修正装置,该装置包括:在原光热反射显微热成像装置上增加调制片和调光装置;所述调制片设置在所述原光热反射显微热成像装置中的准直透镜和分束器之间,且位于所述准直透镜的焦面上;所述调光装置设置在所述原光热反射显微热成像装置的光路上,用于使经所述调制片调制后的照明光不经被测样品表面直接在像面成像。由于采用的光热反射显微热成像装置中增加的调制片和调光装置,可以有效抑制光源强度漂移和相机响应度漂移对参考图像和待修正图像的采集,并且不需要对被测物温度进行调制,即可实现对静态目标的温度测量。
搜索关键词: 光热 反射 显微 成像 装置 漂移 修正 方法
【主权项】:
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