[发明专利]一种高浓CF显影液及其制备方法在审
| 申请号： | 202010875693.4 | 申请日： | 2020-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN112099321A | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 何珂;戈士勇;汤晓春 | 申请（专利权）人： | 江苏中德电子材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32 |
| 代理公司： | 江阴义海知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 | 代理人： | 林友琴 |
| 地址： | 214400 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高浓CF显影液及其制备方法。该高浓CF显影液的组分及其重量百分数为：5‑15％的无机强碱、3‑20％的表面活性剂、1‑2％的促溶剂、0.01‑2％的羧酸酯水解酶EC3.1.1.1，余量为高纯水。本发明通过在高浓CF显影液中添加了羧酸酯水解酶EC3.1.1.1，克服了现有高浓度CF显影液因表面活性剂添加量大容易导致混浊、产生泡沫、显影速度随显影时间减弱、显影存在残渣、显影不完全、存在膜污等问题，配方浓缩，运输成本稍，且具有良好的显影效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cf 显影液 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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