[发明专利]振动器件有效
申请号: | 202010875967.X | 申请日: | 2020-08-27 |
公开(公告)号: | CN112444642B | 公开(公告)日: | 2022-09-09 |
发明(设计)人: | 小仓诚一郎;山口启一;西泽龙太 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G01P3/02 | 分类号: | G01P3/02;G01P1/00;G01P1/04 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 邓毅;黄纶伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
提供振动器件,其具有优异的检测特性。该振动器件包含振动元件、基座和相对于基座支承振动元件的支承件。另外,从所述支承件的厚度方向俯视时,支承件具有框状的框架、配置在框架的外侧并固定于基座的底座、配置在框架的内侧并搭载有振动元件的元件保持架、从元件保持架起沿第1方向延伸并连接元件保持架和框架的一对第1梁、以及从框架起沿与第1方向不同的第2方向延伸并连接框架和底座的一堆第2梁。并且,在俯视时,将第1梁在第1方向上的长度设为L1(μm)、第1梁在与第1方向垂直的方向上的宽度W设为W1(μm)时,满足W1 |
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搜索关键词: | 振动 器件 | ||
【主权项】:
暂无信息
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