[发明专利]高耐热正性光刻胶以及形成光刻胶图案的方案在审
| 申请号： | 202010876444.7 | 申请日： | 2020-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN112114497A | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 陆水忠;戈士勇;何珂 | 申请（专利权）人： | 江苏中德电子材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/004 |
| 代理公司： | 江阴义海知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 | 代理人： | 林友琴 |
| 地址： | 214400 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高耐热正性光刻胶以及形成光刻胶图案的方案，该光刻胶的组分及其重量百分数为：20‑40％线性酚醛环氧树脂、0.5‑1.5％环氧树脂的潜伏型固化剂、1‑15％线性酚醛树脂、3‑25％重氮类光敏剂、20‑65％溶剂、0‑2％其他助剂，其中所述环氧树脂的潜伏型固化剂与线性酚醛环氧树脂的反应固化温度为100‑120℃。与现有技术相比，本发明通过添加线性酚醛环氧树脂以及潜伏型固化剂搭配线性酚醛树脂，使得曝光区光刻胶可以显影完全；潜伏型固化剂搭配线性酚醛树脂作为环氧树脂的高温固化剂，提高了光刻胶浮雕图案的耐温性，有效地避免了后期干刻阶段光刻胶浮雕图案发生变形，使得光刻图案保持良好的分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 耐热 光刻 以及 形成 图案 方案 | ||
【主权项】：
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