[发明专利]一种铟管靶及其制备方法在审
| 申请号： | 202010876915.4 | 申请日： | 2020-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN112030119A | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 曹兴民 | 申请（专利权）人： | 苏州思菲科新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海得民颂知识产权代理有限公司 31379 | 代理人： | 孙刚 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市相城区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铟管靶及其制备方法，该铟管靶包括圆柱形或圆管形的衬管和设置在所述衬管外的铟料层，其晶粒尺寸小于等于500微米；所述铟管靶的氧含量不大于50ppm；铟管靶的金属杂质含量不大于100ppm。其制备方法包括以下步骤：1）固定衬管；2）浇注，形成铟料层；3）自然冷却；4）塑形加工；5）对所述铟料层进行车削加工；6）抛光处理，以使得所述铟管靶的粗糙度小于等于Ra1.6μm；7）用盐酸腐蚀所述铟管靶的表面，显现晶粒晶界，以检验晶粒平均大小。本发明的晶粒尺寸小于等于500微米、大小均匀，而且内部无缺陷；此铟管靶在溅射过程中，镀膜沉积厚度均匀，并减少打弧放电的次数，可广泛适用于手机外壳溅镀的非导电金属膜和CIGS薄膜太阳能电池。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铟管靶 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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