[发明专利]蒸镀装置有效
| 申请号： | 202010877099.9 | 申请日： | 2020-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN112442661B | 公开（公告）日： | 2023-07-25 |
| 发明（设计）人： | 真下精二 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京魏启学律师事务所 11398 | 代理人： | 魏启学 |
| 地址： | 日本东京都大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供以下蒸镀装置：在具有多个蒸镀源和与各蒸镀源相对应的开闭器的团簇型的蒸镀装置中，不会导致装置的大型化并且能够始终监视蒸镀速率。在具有蒸镀源(1、2)和控制蒸镀源(1、2)的蒸镀、非蒸镀的开闭器(5、6)的蒸镀装置中，使开闭器(5、6)的高度彼此不同，将该开闭器(5、6)配置为在开状态下彼此重叠，并且配置有在开状态下将开闭器(5、6)之间分隔的分隔壁(12)。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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