[发明专利]一种化学气相沉积/渗透装置和制备陶瓷基复合材料的方法

摘要

本发明提供了一种化学气相沉积/渗透装置和制备陶瓷基复合材料的方法，属于功能材料制备技术领域。本发明中装置包括前驱体输运系统和反应炉，所述前驱体输运系统包括并联设置的气态前驱体输运系统和液态前驱体输运系统。本发明通过并联设置气态前驱体输运系统和液态前驱体输运系统，实现气态前驱体和液态前驱体的输运，采用第I气体计量装置调控气态前驱体输运通道中气态前驱体、载气和稀释气的流量，液态前驱体先通过液体计量装置调控流量后再加热汽化通入反应炉(采用第II气体计量装置调控液态前驱体输运通道中载气和稀释气的流量)，液态前驱体可以精确调控，操作方便，最终可以实现具有不同界面相以及不同基体的陶瓷基复合材料的高效制备。