[发明专利]衬底基座

摘要

本发明涉及衬底基座。一种衬底基座包括：适配器，具有限定圆柱形内部区域的具有上表面和下表面的侧壁，上表面包括环形气体通道、内槽和外槽，内槽在至少一个气体通道的径向内侧，外槽位于内槽和环形气体通道的径向外侧，内槽配置成接收内O形环以形成内真空密封，外槽配置成接收外O形环以形成外真空密封；以及配置成与适配器机械耦合的杆，其具有：限定杆中的圆柱形内部区域的侧壁，侧壁包括下表面，和上表面，适配器的下表面与杆的侧壁的上表面机械耦合，杆的下表面包括至少一个气体入口，其与位于杆的侧壁中的相应的气体通道流体连通，至少一个气体入口与适配器的上表面的环形气体通道流体连通。